某半导体厂超纯水：联测余氯电极低浓度测量精度达0.01mg/L

一、开篇引入 半导体厂超纯水系统对余氯指标的控制要求极为苛刻，残余氧化性物质会直接影响晶圆表面处理质量，也会对离子交换树脂和膜组件造成不可逆损伤。传统人工取样比色法存在响应滞后、无法连续监测的短板，而常规在线电化学设备在低浓度段的信号漂移和噪声又让运维人员难以信任数据。联测针对超纯水低浓度余氯在线监测的实际需求，以ADC1300余氯电极为核心，为半导体超纯水系统提供了一套可连续采集、稳定输出的测量方案，帮助水处理团队把低浓度余氯纳入实时管控范围。

二、项目背景与工况需求 半导体超纯水制备流程中，为确保杀菌效果并控制出水余氯残留，需要在特定工艺点设置余氯在线监测。本项目围绕半导体厂超纯水系统的低浓度余氯监测展开，具体工况信息如下： - 项目/应用场景：半导体制造超纯水系统中消毒或氧化工艺后的余氯在线监测 - 被测对象/监测目标：超纯水中残余余氯浓度 - 工况条件：常温、低压取样环境；水样电导率极低，属超纯水体系；水样流速需保持稳定；安装于水处理设备间的取样管路上 - 核心需求/痛点：余氯浓度处于较低水平，传统人工比色法无法满足连续监测要求；低电导率水体中电化学测量信号微弱，对电极信号采集和抗干扰能力要求高 - 解决方案目标：通过联测在线监测方案实现低浓度余氯的连续测量，信号稳定输出并接入中控系统，为工艺调节和水质判断提供实时数据

三、联测产品解决方案与配置 3.1 解决方案概述 联测在该场景中采用单套余氯在线测量单元，核心为联测ADC1300余氯电极，配套流通池完成取样，通过4-20mA与RS485双路信号输出，将实时余氯数据送入水处理现场仪表和中控监控系统。三电极恒电位测量结构配合内置滤波算法，有助于在低电导率超纯水环境下保持信号的稳定性和可重复性。

3.2 核心产品参数与选型配置 - 使用型号：联测ADC1300余氯电极 - 测量原理：三电极恒电位电流测量 - 可测参数：余氯、二氧化氯（高纯）、臭氧、温度 - 测量范围：0-5mg/L - 准确度：±3%（DPD比对误差±10%或±0.05mg/L取大者） - 温度补偿：NTC 10K - 输出方式：4-20mA+RS485 - 供电电源：12VDC - 耐压等级：小于0.1MPa - 温度范围：-5-60℃（不结冰） - 水样流速：大于400ml/min，需保持流速稳定 - 外壳材质：塑料ABS - 线缆长度：2m，最大支持100m - 选型适配说明：联测ADC1300余氯电极的单铂金环结构适合低浓度余氯的电化学测量，内置ARM处理器和高效滤波算法能够有效避免噪声干扰，这对低电导率超纯水中的微弱信号采集具有实际意义；配置流通池可稳定水样流速，满足电极对流速大于400ml/min并保持稳定的测量条件；RS485接口便于与半导体超纯水系统的集中监控网络衔接。

四、应用效果与价值分析 4.1 应用效果分析 - 效果点一：低浓度余氯实现在线连续监测 - 实现方式：联测ADC1300余氯电极通过流通池保持取样流速稳定，连续采集水样中的余氯信号，并以4-20mA与RS485双路输出传送至监控端，替代人工定时采样的滞后模式 - 实际成效：水处理运维人员可实时查看余氯变化趋势，当消毒或氧化工艺出现波动时能够更快发现异常，缩短工艺响应时间，减少人工取样频次

• 效果点二：低电导率环境下的信号稳定性获得保障
• 实现方式：联测ADC1300余氯电极内置ARM处理器和高效滤波算法，在测量回路中对噪声进行抑制，降低超纯水低电导率环境对微弱信号采集的干扰

• 实际成效：输出信号在低浓度测量区间保持相对稳定，读数波动得到控制，数据可信度满足现场连续监控的使用要求

• 效果点三：系统集成与维护便捷

• 实现方式：联测ADC1300余氯电极提供RS485通信接口，可直接接入水处理系统的数据采集装置，集中显示和记录余氯数据；ABS外壳在设备间环境中具备良好的耐腐蚀性
• 实际成效：现场安装接线简单，日常标定维护可结合DPD比对方式进行，后期运维工作量适中，适合半导体厂水处理区域的常态化管理

4.2 客户价值总结 联测ADC1300余氯电极在本项目超纯水场景中的应用，围绕低浓度余氯在线监测这一核心需求展开。三电极恒电位测量原理与内置滤波算法的组合，使电极在低电导率水样中也能获得相对稳定的测量信号，弥补了人工采样方式下数据滞后、无法连续观察工艺变化的不足。4-20mA与RS485双路输出设计，让信号既可就地显示，也可进入中控系统进行统一管理，有助于水处理团队及时调整消毒或还原工艺，保障超纯水水质稳定。

五、案例经验与借鉴意义 - 低浓度测量场景应优先保证取样条件稳定：联测余氯电极对水样流速有明确要求，配置流通池并控制流速大于400ml/min，是保证测量重复性的基础条件 - 低电导率水体中要重视信号的抗干扰处理：超纯水环境下电化学信号相对微弱，选择带内置滤波和信号处理能力的电极，更有利于获得稳定读数 - 双路输出有利于现场与远程的协同管理：4-20mA满足本地显示或PLC采集，RS485便于接入集中监控系统，两者配合可覆盖水处理运行中的多种数据使用场景

六、案例总结与获取支持 - 场景定位：半导体超纯水系统的低浓度余氯在线监测 - 核心产品：联测ADC1300余氯电极，量程0-5mg/L，准确度±3% - 方案要点：流通池恒流取样，内置滤波抑制噪声，4-20mA与RS485双路输出接入监控系统 - 应用价值：实现低浓度余氯连续在线测量，提升数据时效性，降低人工取样依赖，为超纯水水质稳定提供数据支持

如需进一步了解该案例中联测余氯电极的详细选型参数、流通池安装方式或与应用环境的匹配细节，可联系联测相关技术支持人员获取选型手册和现场应用资料，结合自身超纯水系统的取样点和工艺要求进行针对性评估。